半导体集成电路的工艺流程和实现步骤

来源:   编辑:   发布时间:2020-02-11

半导体集成电路的工艺流程和实现步骤

1. 光刻

2. 刻蚀

3. 薄膜

4. 掺杂

5. 化学机械平坦化CMP